扫描电子显微镜

日期:2021-09-04     作者:     编辑:陈为超    阅读:

 

 

 

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设备名称

扫描电子显微镜

设备型号

VEGA 3 SBH

生产厂家

TESCAN

仪器现状

正常

负 责 人

潘颖

   

13553033161

   

qdupy@163.com

放置地点

凝思楼102

设备附件

能谱仪1套,离子溅射仪1

设备功能

 

 

 

 

 

 

主要用于样品的微观形貌观察、结构分析、缺陷检测、尺寸测量和成分分析,适用于芯片、高分子材料、粉末等体积小、重量轻的样品,对环境要求较低。分辨率:3nm@30kV8nm@3kV,要求非磁性样品,粉末、块状固体高度低于15mm,直径小于100mm