设备型号

VEGA 3 SBH

生产厂家

TESCAN

仪器现状

正常

负 责 人

潘颖

电    话

13553033161

邮    箱

qdupy@163.com

放置地点

凝思楼102

设备附件

能谱仪1套，离子溅射仪1台

设备功能

主要用于样品的微观形貌观察、结构分析、缺陷检测、尺寸测量和成分分析，适用于芯片、高分子材料、粉末等体积小、重量轻的样品，对环境要求较低。分辨率：3nm@30kV，8nm@3kV，要求非磁性样品，粉末、块状固体高度低于15mm，直径小于100mm。